真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。
真空碳管燒結(jié)爐主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護(hù)氣氛中，短時(shí)間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結(jié)爐的主要性能特點(diǎn)：
1、一體化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，外形美觀，自帶駙馬輪，移機(jī)搬遷方便快捷。
2、采用爐蓋升降結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)精巧，裝卸料方便。
3、采用觸摸屏+plc控制方式，自動(dòng)化程度高，操作直觀，功能強(qiáng)大。操作屏上直觀顯示各個(gè)部件的運(yùn)行狀況和運(yùn)行數(shù)據(jù)。
4、具有工藝在線編輯、存儲(chǔ)、調(diào)用、上傳、下載功能、在觸摸屏內(nèi)可預(yù)存幾十種燒結(jié)工藝，一次編輯，以后直接調(diào)用使用，省去多次編輯工藝的麻煩，避免輸入錯(cuò)誤，燒壞產(chǎn)品。
5、燒結(jié)的溫度，真空度，等數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)記錄，也可隨時(shí)啟動(dòng)停止記錄，減少無用數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)可查詢，可導(dǎo)出下載。
6、燒結(jié)溫度高，鉬絲鉬片發(fā)熱體溫度可達(dá)1600℃及以上。
7、自帶水冷機(jī)，省去客戶做水路工程的麻煩。
